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EFDS Workshop

"Ionenstrahlen in der Oberflächen- und Dünnschichtforschung"

Die Technologie von Ionenstrahlen und ihre Anwendung in der Oberflächen- und Dünnschichtforschung haben in den letzten Jahren eine bedeutende Entwicklung erfahren. In der Ionenstrahltechnologie wurden insbesondere methodische Weiterentwicklungen von Ionenquellen, Beschleunigersystemen, Ionenspektrometern und Detektoren im Hinblick auf einen optimierten Einsatz in der Werkstoffforschung erreicht. Dabei haben sich zwei Hauptanwendungsgebiete für Festkörperoberflächen und oberflächennahe Schichten ergeben: die Oberflächenbearbeitung mittels Ionen und die Festkörperanalytik mit Ionenstrahlung.

Die Werkstoffbearbeitung mit Ionen verfolgt verschiedene Ziele: zum einen kann eine Oberflächenmodifikation erreicht werden, die zur definierten Ätzung und Ionenpräparation genutzt werden kann, zum anderen werden Ionen in oberflächennahe Schichten implantiert und führen so zu gezielten Veränderungen des elektrischen, optischen, magnetischen und mechanischen Verhaltens dieser Schichten.

Der Einsatz von Ionenstrahlen zur Dünnschicht- und Oberflächenanalytik erlaubt neuartige Möglichkeiten der zerstörungsfreien Werkstoffprüfung, aber auch für die Gewinnung von Element- Tiefenkonzentrationsprofilen in Schichten, Schichtsystemen und Grenzschichten. Ein schwerpunktmäßiges Ziel des Tutorials ist es, Möglichkeiten des Einsatzes von Ionenstrahlen bei der praktischen Oberflächen- und Dünnschichtforschung aufzuzeigen, insbesondere für die:

  • Optimierung von Schichteigenschaften (elektrisch, optisch, magnetisch, mechanisch,…)

  • gezielte Herstellung und Nutzung von Ionen-Implantationsprofilen

  • definierte Oberflächenbearbeitung (Reinigen, Ätzen, Maskentechniken, Ionenpräparation)
  • moderne Ionenstrahlanalytik.

Diesen Zielen dienen sowohl die angebotene Vorlesungsreihe als auch die praktische Vorführung von Ionen -Implantationsanlagen. Das Tutorial wendet sich damit an:

  • Praktiker in der Herstellung und Anwendung von Festkörperoberflächen, Grenzschichten und oberflächennahen Dünnschichtsystemen

  • Technologieentwickler für den Schichteinsatz, insbesondere mit Ionen-Implantationsprofilen in der Mikro-, Opto- und Magnetoelektronik

  • Anwender moderner Analyseverfahren von Oberflächen und dünnen Schichten mit Ionenstrahlen
  • Wissenschaftler der physikalischen, chemischen und biomedizinischen Grundlagenforschung an Oberflächen, Grenzflächen und Dünnschichten

Die EFDS ist als Mitglied der AiF Initiator von Projekten des vom BMWi geförderten Programms „Industrielle Gemeinschaftsforschung (IGF)“ und würde es begrüßen, wenn auf dem Tutorial geknüpfte Kontakte zu gemeinsamen Forschungsvorhaben führen würden.


Hier finden Sie mehr Informationen zum Workshop.

Agenda:

17.09.2013 Dienstag

  • 10:00 - 17:00 Workshop
  • 19:00 - 21:00 Abendessen im "Watzke Brauereiausschank am Goldenen Reiter"

18.09.2013 Mittwoch

  • 09:00 - 16:00 Workshop

Datum:

17.09.2013 10:00 - 18.09.2013 16:00

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